ปั๊มสุญญากาศที่ทำงานด้วยความเร็วถึงหมื่นรอบต่อนาที โดยทั่วไปเรียกว่าปั๊มเทอร์โบโมเลกุล ส่วนประกอบหลักคือชุดโรเตอร์ที่หมุนนับหมื่นครั้งต่อนาที การออกแบบนี้ทำให้โมเลกุลของก๊าซมีพฤติกรรมราวกับถูกไม้เทนนิสที่หมุนอย่างรวดเร็วพุ่งเข้าหาทางออกของปั๊มอย่างต่อเนื่อง ปั๊มเทอร์โบโมเลกุลสมัยใหม่สามารถมีความเร็วการหมุนสูงสุด 90,000 รอบต่อนาที- เทียบเท่ากับการหมุนครบ 1,500 รอบต่อวินาที
ข้อดีเฉพาะตัวของปั๊มสุญญากาศสูง-
ระดับสุญญากาศสูง-พิเศษ: ระดับสุญญากาศสูงสุดที่บรรลุได้สามารถเข้าถึง 10⁻⁸ ปาสคาล- ซึ่งสูงกว่าระดับสุญญากาศที่ทำได้โดยปั๊มเชิงกลมาตรฐานถึงแปดลำดับ
สะอาดและปราศจากการปนเปื้อน-: ไม่ต้องใช้น้ำมันหล่อลื่น จึงช่วยป้องกันไอน้ำมันไหลย้อนและการปนเปื้อนในสภาพแวดล้อมสูญญากาศในภายหลัง
การสูบน้ำอย่างรวดเร็ว: ถึงระดับสุญญากาศในการทำงานภายในเวลาเพียงสามนาทีหลังจากเริ่มต้น
การทำงานร่วมกันแบบหลาย-: บรรลุการปั๊มที่มีประสิทธิภาพสูงผ่านการทำงานร่วมกันของการลากของโมเลกุลและการบีบอัดทางกล
สถานการณ์การใช้งานทั่วไป
ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ อุปกรณ์เหล่านี้ใช้สำหรับกระบวนการเคลือบแผ่นเวเฟอร์ ในการวิจัยทางวิทยาศาสตร์ พวกเขาช่วยเครื่องเร่งอนุภาคในการรักษาสภาพแวดล้อมสุญญากาศสูงเป็นพิเศษ- เครื่องสแกน CT ทางการแพทย์ยังใช้เครื่องเหล่านี้เพื่อรักษาความสมบูรณ์ของสุญญากาศของหลอดรังสีเอกซ์- ในขณะที่เครื่องตรวจจับอินฟราเรดในเครื่องมือสังเกตการณ์ทางดาราศาสตร์อาศัยเครื่องเหล่านี้เพื่อขจัดสัญญาณรบกวนจากความร้อนที่เกิดจากโมเลกุลของอากาศ
