ปั๊มสุญญากาศเชิงกลแบบแห้งมีการใช้งานที่หลากหลาย โดยหลักๆ ในด้านต่อไปนี้:
ในกระบวนการเตรียมโพลีซิลิคอนภายในระบบการสะสมไอสารเคมีด้วยความดันต่ำ (LPCVD)
ในกระบวนการกัดเซมิคอนดักเตอร์ กระบวนการผลิตเหล่านี้มักเกี่ยวข้องกับการใช้หรือการสร้างก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนและอนุภาคที่มีฤทธิ์กัดกร่อน
ใน-กระบวนการสร้างอนุภาคบางประเภท-นอกอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์- ซึ่งไม่พึงประสงค์ที่อนุภาคจะผสมกับน้ำมันปั๊ม และต้องการให้ไล่ออกจากปั๊มแทน ปั๊มสุญญากาศเชิงกลแบบแห้งบางประเภทสามารถนำมาใช้เพื่อให้เป็นไปตามข้อกำหนดเหล่านี้
ในการกลั่น การทำแห้ง การกำจัดแก๊ส และการบรรจุหีบห่อภายในอุตสาหกรรมเคมี ยา และอาหาร ซึ่งจำเป็นต้องป้องกันการปนเปื้อนด้วยตัวทำละลายอินทรีย์ ปั๊มสุญญากาศแบบแห้งเป็นตัวเลือกที่เหมาะสม
เช่นเดียวกับ-ปั๊ม (ปั๊มหยาบ) ในระบบสุญญากาศที่สะอาดไร้น้ำมัน-ทั่วไป เพื่อป้องกันการปนเปื้อนของน้ำมัน
