หากปั๊มสุญญากาศแบบแห้งเปรียบได้กับร่างกายมนุษย์ ระบบโรเตอร์ของปั๊มจะเป็น "หัวใจ" ส่วนประกอบหลักนี้ประกอบด้วยโรเตอร์สองตัวที่ได้รับการประมวลผลอย่างแม่นยำ ซึ่งเหมือนกับคู่เต้นรำที่ซิงโครไนซ์กันอย่างสมบูรณ์แบบ โดยหมุนไปในทิศทางตรงกันข้ามภายในห้องปั๊ม รูปร่างของโรเตอร์เหล่านี้ได้รับการปรับปรุงอย่างพิถีพิถัน การกำหนดค่าทั่วไป ได้แก่ ประเภทกรงเล็บ สกรู และราก ซึ่งแต่ละประเภทมีข้อดีที่แตกต่างกัน:
โรเตอร์แบบก้ามปู-: โครงสร้างเรียบง่ายและ-เหมาะสำหรับการถ่ายก๊าซที่มีอนุภาคอยู่
โรเตอร์แบบสกรู-: มีความสามารถในการซีลที่ดีเยี่ยม ช่วยให้บรรลุระดับสุญญากาศที่สูงได้
โรเตอร์แบบราก-: มีคุณลักษณะเฉพาะด้วยความเร็วในการปั๊มที่รวดเร็ว ทำให้เหมาะสำหรับการใช้งานที่ต้องการการอพยพก๊าซอย่างรวดเร็ว โดยทั่วไปพื้นผิวของโรเตอร์จะได้รับการดูแลเป็นพิเศษเพื่อเพิ่มความแข็งและความต้านทานต่อการสึกหรอ ดังนั้นจึงรับประกันว่า-การทำงานจะปราศจากการรั่วไหลในระยะเวลาที่ขยายออกไป ระยะห่างระดับไมครอน-จะยังคงอยู่ระหว่างโรเตอร์ทั้งสอง ระยะห่างนี้ป้องกันการเสียดสีจากการสัมผัสไปพร้อมๆ กัน ในขณะเดียวกันก็ทำให้สามารถอัดก๊าซได้อย่างมีประสิทธิภาพ
คุณลักษณะเด่นอีกประการหนึ่งของปั๊มสุญญากาศแบบแห้งคือ-การออกแบบที่ปราศจากน้ำมัน-โดยสมบูรณ์ ซึ่งเกิดขึ้นได้ด้วยระบบซีลอันซับซ้อน ระบบซีลนี้ทำหน้าที่เป็น "เกราะป้องกัน" ป้องกันไม่ให้อากาศภายนอกและน้ำมันหล่อลื่นเข้าสู่ห้องปั๊ม ในขณะเดียวกันก็ป้องกันการรั่วไหลของก๊าซจากภายในปั๊ม
วิธีการปิดผนึกทั่วไป ได้แก่ :
ซีลเครื่องกล: ใช้สปริงและคู่แรงเสียดทานเพื่อให้เกิดการซีลแบบไดนามิก
ซีลเขาวงกต: การใช้ช่องที่ซับซ้อนเพื่อเพิ่มความต้านทานต่อการรั่วไหลของก๊าซ
ซีลเฟอร์โรฟลูอิด: ควบคุมของเหลวแม่เหล็กเพื่อสร้างวงแหวนซีลของเหลว โมเดลขั้นสูงมักจะรวมเอา-เทคนิคการปิดผนึกหลายขั้นตอนเข้าด้วยกัน ซึ่งสร้างการป้องกันหลายชั้นที่จุดวิกฤติ-เช่น ปลายเพลาโรเตอร์และส่วนต่อประสานห้องปั๊ม- เพื่อให้แน่ใจว่าสภาพแวดล้อมสุญญากาศยังคงบริสุทธิ์และปราศจากการปนเปื้อน
ระบบทำความเย็น: "การระบายความร้อน-มหัศจรรย์"
การหมุนด้วยความเร็วสูง-ทำให้เกิดความร้อนจำนวนมากภายในโรเตอร์ หากไม่มีการระบายความร้อนที่มีประสิทธิภาพ อุณหภูมิของตัวปั๊มจะเพิ่มขึ้นอย่างรวดเร็ว ซึ่งอาจส่งผลต่อประสิทธิภาพการทำงานหรือแม้แต่สร้างความเสียหายให้กับส่วนประกอบภายใน ระบบทำความเย็นของปั๊มสุญญากาศแบบแห้งทำหน้าที่เป็น "การกระจายความร้อน-อย่างมหัศจรรย์" โดยทั่วไปจะใช้วิธีใดวิธีหนึ่งจากสองวิธี:
การระบายความร้อนด้วยอากาศ: ใช้แผงระบายความร้อนและพัดลมเพื่ออำนวยความสะดวกในการ-กระจายความร้อนแบบพาความร้อน ทำให้เหมาะสำหรับปั๊มขนาดเล็กถึงขนาดกลาง-
การระบายความร้อนด้วยน้ำ: หมุนเวียนของเหลวหล่อเย็นเพื่อนำความร้อนออกไป ซึ่งเป็นวิธีการที่เหมาะสมที่สุดสำหรับปั๊มกำลังสูง-ขนาดใหญ่ บางรุ่นมีช่องระบายความร้อนในตัวโรเตอร์ ช่วยให้ของเหลวทำความเย็นไหลผ่านโซนสร้างความร้อนโดยตรง- เพื่อการควบคุมอุณหภูมิที่มีประสิทธิภาพยิ่งขึ้น ระบบระบายความร้อนที่ยอดเยี่ยมช่วยให้แน่ใจว่าปั๊มจะรักษาอุณหภูมิในการทำงานให้คงที่ในระหว่างการทำงานต่อเนื่อง จึงช่วยยืดอายุการใช้งานโดยรวม
