คำว่า "ปั๊มสุญญากาศขนาดเล็ก" หมายถึงปั๊มสุญญากาศ *ขนาดเล็ก* โดยเฉพาะ เนื่องจากขนาดที่กะทัดรัด ปั๊มสุญญากาศขนาดเล็กจึงมักถูกเรียกว่าปั๊มสุญญากาศขนาดเล็ก ปั๊มสุญญากาศขนาดเล็ก (เช่น ปั๊มสุญญากาศขนาดเล็ก) หมายถึงอุปกรณ์ที่มีพอร์ตไอดีเดียวและพอร์ตไอเสียเดียว ซึ่งสามารถสร้างแรงดันสุญญากาศหรือแรงดันลบที่ทางเข้าได้อย่างต่อเนื่อง ในขณะเดียวกันก็สร้างแรงดันบวกเล็กน้อยที่ไอเสียไปพร้อมๆ กัน สื่อการทำงานหลักของมันคือแก๊ส และมีลักษณะเฉพาะด้วยขนาดที่เล็กจิ๋ว
หากภาชนะปิดผนึก (เริ่มแรกที่ความดันบรรยากาศมาตรฐาน 100 kPa) เชื่อมต่อกับปั๊มสุญญากาศขนาดเล็กและต้องอพยพอย่างต่อเนื่อง แรงดันก๊าซภายในภาชนะจะลดลงต่ำกว่าความดันบรรยากาศในที่สุด จนไปถึงความดันสัมบูรณ์ที่ 60 kPa นอกจากนี้-ด้วยการปรับปรุงทางเทคนิคเฉพาะทาง-เทคโนโลยีนี้ได้พัฒนาไปไกลกว่าสุญญากาศแบบธรรมดา-แต่มีเพียงรุ่นเท่านั้นที่รวมปั๊มขนาดเล็กแบบฟังก์ชันคู่-ที่สามารถดูดฝุ่นและสูบน้ำได้ (กล่าวคือ ช่องไอเสียสามารถสร้างแรงดันเชิงบวกได้อย่างมาก) ปั๊มฟังก์ชันคู่-เหล่านี้ใช้สำหรับการใช้งานต่างๆ เช่น การเพิ่มแรงดัน การพองตัว และการเอาชนะความต้านทานของระบบ นอกจากนี้ยังมีปั๊มขนาดเล็กที่มีเอกลักษณ์เฉพาะตัวที่สามารถจัดการทั้งน้ำและก๊าซได้ ต่างจากปั๊มน้ำมาตรฐาน-ซึ่งมักจะได้รับความเสียหายหากปล่อยให้เดินเบาหรือทำงานโดยแห้ง-ปั๊มเฉพาะทางนี้ได้รับการออกแบบมาให้ทำงานได้อย่างน่าเชื่อถือในสถานการณ์ที่ต้องใช้สภาวะเดินเบาหรือ-การทำงานที่แห้งเป็นเวลานาน
