ระบบโรเตอร์
แกนส่งกำลังของปั๊มสุญญากาศแบบแห้งคือชุดโรเตอร์ที่ติดตั้งไว้อย่างแม่นยำ โดยทั่วไปจะประกอบด้วยโรเตอร์ที่มีรูปทรงขดหรือก้ามปู{0}}สองถึงสามตัว โรเตอร์โลหะที่มีความแม่นยำสูง-เหล่านี้จะประกบกันโดยมีระยะห่างระดับไมครอน- โดยใช้การหมุนทวน-เพื่อขับเคลื่อนก๊าซจากช่องทางเข้าไปยังช่องไอเสีย การออกแบบโปรไฟล์ที่เป็นเอกลักษณ์ของโรเตอร์-เช่น โปรไฟล์โค้งงอหรือโค้งวงกลม-เป็นตัวกำหนดประสิทธิภาพการสูบน้ำ ความเร็วในการหมุนอาจถึง 3,000–6,000 รอบต่อนาที และอัตราส่วนการบีบอัดขั้นตอนเดียวสามารถเกิน 10:1
โครงสร้างการปิดผนึก
ปั๊มแห้งต่างจากปั๊มปิดผนึกน้ำมัน-ตรงที่รักษาความสมบูรณ์ของสุญญากาศผ่านกลไกการปิดผนึกสาม-ชั้น:
ซีลเขาวงกต: ช่องคดเคี้ยวหลาย-ชั้นซึ่งอยู่ที่ปลายโรเตอร์ใช้ความต้านทานการไหลของอากาศเพื่อป้องกันการรั่วไหล
แผงกั้นแก๊ส: ก๊าซเฉื่อยถูกฉีดเข้าไปในช่องว่างวิกฤตเพื่อสร้างแผงกั้นแรงดันลม
การเคลือบแบบพิเศษ: พื้นผิวโรเตอร์ถูกเคลือบด้วยวัสดุ เช่น PEEK (โพลีอีเทอร์อีเทอร์คีโตน) ซึ่งให้ทั้งความต้านทานการสึกหรอและลดค่าสัมประสิทธิ์แรงเสียดทาน
คุณสมบัติการออกแบบเหล่านี้รักษาอัตราการรั่วไหลให้ต่ำกว่า 0.5 Pa·m³/s ดังนั้นจึงเป็นไปตามข้อกำหนดด้านความสะอาดที่เข้มงวดของอุตสาหกรรมต่างๆ เช่น การผลิตเซมิคอนดักเตอร์
โมดูลทำความเย็น: "ผู้พิทักษ์อุณหภูมิ" สำหรับการทำงานต่อเนื่อง
เนื่องจากไม่มีการหล่อลื่นแบบใช้น้ำมัน- ปั๊มแห้งจึงจำเป็นต้องมีระบบการจัดการระบายความร้อนอัจฉริยะ:
การระบายความร้อนด้วยอากาศ: ครีบกระจายความร้อนอลูมิเนียมอัลลอยด์จับคู่กับพัดลมแบบแรงเหวี่ยงจะกระจายความร้อนได้มากถึง 60%
การระบายความร้อนด้วยน้ำ: วงจรการไหลเวียนของน้ำในท่อทองแดง-ภายในให้ประสิทธิภาพการแลกเปลี่ยนความร้อนที่สูงกว่าการระบายความร้อนด้วยอากาศถึงสามเท่า
เฟส-เปลี่ยนการทำความเย็น: บางรุ่นใช้เทคโนโลยีท่อความร้อน ซึ่งมีอัตราการนำความร้อนมากกว่าทองแดงบริสุทธิ์ถึง 100 เท่า
